二手 LAM RESEARCH 9600 #9399061 待售

LAM RESEARCH 9600是一款专为生产应用而设计的高端、多室、批量的Dimensional Etcher/Asher。它是现有的最先进的蚀刻器/分类器之一,通过其多个处理室提供了广泛的灵活性和处理能力,可以将其配置为满足各个流程的要求。该设备采用高产率、等离子体增强的化学蚀刻（PECVD）选择性地蚀刻或粉刷各种材料。9600可实现精确、高通量的多层互连、半导体元件和其他图案化基板的蚀刻和粉刷,其尺寸可降至亚微米。该系统的腔室配置灵活性提供了最大的处理能力和灵活性,实现了多个晶片的并行处理以及多个盒式磁带的可选堆叠和加载。LAM RESEARCH 9600的精密可调化学蚀刻提高了晶圆制造的产量和效率。它配备了最新、最先进的蚀刻技术，如：选择源和加载系统，包括等离子增强化学气相沉积、化学气相沉积和反应性离子蚀刻；温度、压力、化学流速控制器；以及先进的气流和排气控制装置，以提高安全和维护。9600还具有提供过程参数和错误记录、晶圆定位和监视工具、全自动端点监视以及灵活的用户定义过程配方的高级控制机器。其直观的图形用户界面（GUI）提供了简单、改进的用户体验和制造商界面。LAM RESEARCH 9600旨在满足严格、快速的生产应用时间表。它提供100%清洁的温度、压力和工艺室条件,以及实时的工艺控制反馈和反馈读数。它被配置为批处理机器，允许每小时最多200个晶圆的快速处理，有操作员定义的过程配方和自动化设置。9600的设计具有非常强大的操作资产,需要最少的维护,而且用户友好,具有安全、方便的即时调整功能。该模型符合严格的ESD标准,并利用100%的清洁温度和排气室、工艺室密封件以及其他安全特性,确保所有晶片都没有污染物。它配备了实时流程监控设备和改进流程控制的端点报警系统。