二手 LAM RESEARCH 9608 PTX #9207997 待售

LAM RESEARCH 9608 PTX是一款用于半导体器件制造的先进蚀刻器/asher。它能够提供高端蚀刻和灰化性能,提供卓越的功能和设备级别功能。LAM 9608 PTX有一个反应器室，其中包含一个可旋转的端效应器平台和一个光刻光源。这允许在整个基板上精确输送等离子体，允许对设计进行精确的图样设计，并导致创建小至0.05微米的结构。LAM LAM RESEARCH 9608 PTX专为满足超前50纳米工艺的需求而设计。室内有八区温度控制，可以更好地控制和统一温度分布。这样可以精确控制蚀刻和灰化过程,从而提高精度和均匀性。LAM 9608 PTX还具有广泛的工艺条件,可实现多种蚀刻技术,从而无需进行工艺开发或附加硬件。它还具有一些关键的安全特性，例如危险的有源气体传感器、安全装置和联锁装置，以及一个内置气体过滤器，可确保在操作过程中不释放危险气体。总体而言，LAM RESEARCH 9608 PTX是一种用于制造半导体器件的高度先进的蚀刻器/灰化器。它提供了卓越的精度，同时具有高度的安全性和广泛的工艺条件。归根结底,这确保了高端蚀刻和灰化性能的一致交付,从而生产出高质量的半导体器件。