二手 LAM RESEARCH A4 4520 PM #9170252 待售

LAM RESEARCH A4 4520 PM是为高级工艺而设计的蚀刻器（或asher），提供对物料去除过程的精确控制。它的最终通过率高达每小时10,000个晶圆，旨在创建具有精确、可重复结果的小型、超精确特征。为了获得最大的工艺灵活性,A4 4520 PM配备了先进的晶圆处理设备,可根据任何基板进行调整。这包括用于处理各种直径和厚度的晶片的组件，以及用于准确管理多个晶片集的可编程卡盘优先排序系统。有多种功能可用于最大限度地提高蚀刻质量和工艺产量,包括用于精确温度控制的闭环真空卡盘设计、使用高质量、可见光学器件的详细实时工艺监控,以及基于配方的多级自动气体控制。该装置获得专利的快速能源响应技术调整，以最佳速度处理各种材料和基材，在蚀刻过程中将反应物浓度降至最低，以提高蚀刻速率和质量。此外,LAM RESEARCH A4 4520 PM还配备了先进的气体控制,用于精确的材料去除.该机器还包括故障排除功能,使技术人员能够在此过程中快速识别和解决问题。此外,集成的报告功能允许记录和报告每个晶片的蚀刻参数,以了解可追踪性和性能历史。为了最大限度地提高安全性，该工具包括先进的密封资产，以保护人员和设备免受蚀刻加工过程中使用的任何有害材料的侵害。这包括一个强大的气体洗涤器，用于捕获和清除蚀刻剂流出。总体而言,A4 4520 PM是一款可靠的高级蚀刻器,旨在创建准确、可重复的功能。它提供了最大的工艺灵活性、精确的温度管理、气体控制以及有效的安全壳模型，以增强安全性。