二手 LAM RESEARCH A4 9400 PTX #9224718 待售
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已售出
ID: 9224718
Process module
Includes:
VAT 65 Gate valve with controller
ADIXEN / ALCATEL 1300M Turbo pump with ADIXEN ACT 1300 controller
VME Chassis: 021
Bias match assembly: 018
ESC Frosted TCP window: 8"
TCP Match dual endpoint detector module
ESC Power supply.
LAM RESEARCH A4 9400 PTX是一款先进、高性能、精密的蚀刻器/asher,旨在为各种材料提供快速、精确、精确的模式传输。蚀刻器/asher配备了可编程的过程控制功能,为用户提供了自定义过程参数以达到最佳效果的能力。A4 9400 PTX 蚀刻器/asher包括一个先进的集成离子铣削系统,它提供比传统的溅射蚀刻器更高的精度、速度和模式保真度。离子铣削系统配有可变功率射频发生器,封装在低压等离子体密闭腔室中,在蚀刻细腻结构和高度精确的图桉时允许更大的灵活性。LAM RESEARCH A4 9400 PTX配备独特的采样相对运动阶段,允许更严格的模式蚀刻控制,提高定位精度。这一特点对那些参与大规模抽样工作的用户特别有吸引力,在这些工作中,模式的精确调整和登记至关重要。A4 9400 PTX结合了气体总开放时间、沉积速率、入射角、侵蚀角、时间延迟等一系列先进工艺参数。这些功能使用户能够根据其特定的工艺要求调整蚀刻器/asher,从而实现出色的模式传输精度。LAM RESEARCH A4 9400 PTX还提供了一系列的配件,包括一个负载锁、倾斜安装的样品支架和分段静电夹板。这允许各种样本量和几何的灵活性。该系统通过2.0KW电源得到了进一步的增强,该电源的设计具有很高的可靠性和对工艺条件的精确控制。A4 9400 PTX是一种高度先进的蚀刻器/灰化器,可确保模式传输和样品制备过程的精度、效率和质量。它为用户提供了广泛的过程控制功能,使他们能够根据自己的具体要求量身定制蚀刻器/asher。LAM RESEARCH A4 9400 PTX是高精度图桉制作和样品制备的理想选择。
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