二手 LAM RESEARCH A4 9400 #9127504 待售

LAM RESEARCH A4 9400是一款高级蚀刻器/asher,旨在为用户提供多用途且经济高效的解决方桉,用于复杂的成型和阵列应用程序。A4 9400具有先进的功能,如集成的射频发生器、高压工艺室以及在蚀刻配方和灰度配方之间轻松切换的能力,是半导体制造商和研究实验室的理想选择,因为它们需要可靠的中负载蚀刻器/灰度,以满足其多用途的离子处理需求。LAM RESEARCH A4 9400的创新设计包括一个高压工艺室,其底压大于1x10-4 torr,使用户能够针对任何蚀刻和沉积变化实现最佳工艺性能。这个先进的腔室还允许通过使用eSFOC-高压泵送技术，达到1x10-6 torr的峰值实用背景压力。集成到A4 9400中的高效射频发电机提供高达500 w的大量功率，使用户能够产生更高的射频等离子体密度。这种射频功率允许用户以较低的材料损耗和充电中和效率生产较厚的薄膜，从而产生更高的工艺产量和更紧密的图样公差。LAM RESEARCH A4 9400还提供了多项安全功能，如可启动的清洗系统以确保清洁操作，以及为保护附近人员和设备而设计的射频防护系统。此外,A4 9400还配备了符合人体工程学设计的工业工作单元,允许用户在蚀刻或粉刷工件时轻松高效地放置工件。除了卓越的性能，LAM RESEARCH A4 9400还提供了简单的配方切换和高处理速度。它可以在短短2秒内从蚀刻转换为ashing食谱，允许用户快速改变食谱配方以适应自己特定的工艺需求。A4 9400还使用户能够实现高达4,500晶圆每小时的处理速度，从而实现快速高效的运行。LAM RESEARCH A4 9400是一款可靠、用途广泛的中负载蚀刻器和灰化器，满足了半导体制造和研究行业的需求。A4 9400凭借其先进的蚀刻和灰度处理能力、强大的射频发生器、高压工艺室、简单的配方切换以及高速处理，是离子处理应用需求的理想解决方桉。