二手 LAM RESEARCH A4 9400 #9198122 待售

LAM RESEARCH A4 9400是一款为大批量生产应用而设计的蚀刻器/asher。它能够进行多种蚀刻工艺，包括用蚀刻剂蚀刻晶圆和其他基材，如X射线光刻、氟化氙和氯基蚀刻剂。蚀刻器/asher包含用于蚀刻和清洁的单个真空室。真空压力在5至10 mTorr的范围内。新设计提供了对蚀刻和清洁过程的完全集成控制，包括对基板表面的独特热控制。A4 9400提供了广泛的选项和功能,包括具有自动设置调整功能的全自动过程、可用于优化蚀刻过程的蚀刻时间和参数的选择,以及直接计算机控制站。LAM RESEARCH A4 9400还运动多个蚀刻头，可针对处理不同基板和不同应用进行单独调整。内置射频发电机经过优化，达到最佳性能，可以简单地针对不同的蚀刻要求进行调整。A4 9400配备了NEBB Clean认证，确保了一致可靠的清洁结果。一个完全集成的安全系统确保所有作业都在安全条例范围内进行。LAM RESEARCH A4 9400是用于大批量生产应用的可靠、高性能的蚀刻器/asher。该系统可提供可重复、可靠、安全的蚀刻,而不牺牲质量。它具有先进的通信接口，允许各种OEM系统和其他系统组件的轻松集成，使其成为各种工业和研究设置的理想选择。此外，其综合安全系统确保所有蚀刻作业均按照安全条例进行。