二手 LAM RESEARCH A4 #148352 待售

LAM RESEARCH A4是一种专为精密晶圆制造而设计的高度先进的蚀刻工具。该设备配备了独特的四向源对准设备,使其能够以高可重复性速率执行高宽高比蚀刻。这个新系统包括一个专利视觉检查模块，能够发现甚至最微妙的缺陷，以及准确测量蚀刻深度。LAM RESEARCH A-4是一种设计用于半导体基板加工的高性能晶圆蚀刻工具。它利用先进的等离子体化学在晶圆制造领域进行多种高长宽比蚀刻。该产品由四个在晶圆上以交叉模式排列的源组成。这样可以使蚀刻速率均匀地分布在整个晶圆表面上。为确保可重复性和准确性，A4配备了针对薄显示器和先进电子包装技术进行优化的专用四向源对准单元。该设备还能够在超出设计规范的位置识别和停止侵蚀。此外，它还具有二维向下蚀刻（2D-LDE）特征，可以检测晶圆上的表面缺陷并创建复杂的结构。该2D-LDE允许制造亚四分之一微米结构以及复杂的几何形状，如通孔通孔。产品独特的视觉检查模块支持A-4强大的处理能力。此模块能够在亚微米级检测到蚀刻缺陷的存在，如表面凹陷、凹痕和其他特征。它还可以准确测量深度，报告错误指示问题。该模块还支持实时蚀刻后工艺控制以及通过提高蚀刻特性的精度提高产量。最后,产品配备了监控和反馈功能,可实现过程优化和更大的可追踪性。综上所述，LAM RESEARCH A4是一种提供精密晶圆制造的高度先进的蚀刻工具。它配备了精密的四向源对准机、2D-LDE和全面的视觉检查模块。这些组件允许对晶片进行高效、准确的蚀刻和检测蚀刻缺陷。此外,该产品的设计旨在提供实时的过程控制和可靠的结果。