二手 LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9241406 待售

LAM RESEARCH A6 9608 PTX是由LAM RESEARCH Corporation开发，用于先进半导体制造工艺的蚀刻器/asher。这款蚀刻器/asher专为半导体生产线中的大批量制造而设计。它利用该公司正在申请专利的热板技术，提供精确、高产的蚀刻和灰化结果。该设备具有20千瓦射频发电机、高效传输和高压输送（最高760托），用于精确的灰化和蚀刻工艺。PTX还配备了热板系统，确保温度分布均匀，有助于减少加工时间。这款蚀刻器具有创新的Hornet反应离子蚀刻技术，可以处理厚度在0.1mm至0.27mm之间的晶片。它还有一个具有自动对准和自动对焦功能的高级工艺控制单元，以及一个用于快速基板交换的自动目标卡带装载机。它还配备了高级流程配方编译器，以简化开发流程配方的任务。A6 9608 PTX 蚀刻器/asher最大容量为8英寸晶圆，均匀度为6500埃，过程可重复性为3.5西格玛。它支持硅、石英、蓝宝石等广泛的晶圆基板，以及广泛的蚀刻和灰化材料清单。该机还能处理广泛的PFG前体气体如氯、氮、溴等。此外，该工具还配备了PANalytical Quartz Analysis Asset，提供对过程性能的实时监控和分析。蚀刻器/asher也与LAM A9热控制模型兼容，允许过程室的温度自动控制。以及臭氧控制设备，该设备提供对臭氧生产的精确控制，以确保统一的蚀刻或灰化结果。LAM RESEARCH A6 9608 PTX是一款高精度的蚀刻器/asher，为半导体生产线提供卓越的工艺可靠性和吞吐量。这种可靠、经济高效的系统非常适合半导体器件制造、封装和其他应用。