二手 LAM RESEARCH A6 9608 PTX #9410068 待售

LAM RESEARCH A6 9608 PTX 蚀刻器/asher是一种工业级等离子蚀刻工具，用于半导体和微机械产品的精密制造。9608 PTX的特点是化学蚀刻，使用反应性气体，结合使用物理形式的能量，称为等离子体蚀刻。该工具提供了工艺控制和蚀刻一致性的完美组合，同时通过将材料从源晶片快速转移到目标晶片来实现高吞吐量。9608 PTX强大的设计非常适合在恶劣的工业环境中进行重复操作。该系统采用多室体系结构构建,允许进行各种蚀刻过程。它设有三个工艺室、一个预蚀刻室、一个蚀刻室和一个后蚀刻室。每个腔室提供了许多蚀刻选项以及调整压力、流量和温度等参数的能力。循环水路确保了蚀刻过程中的温度维持，即使在长时间运行中也是如此。高效的9608 PTX系统旨在将多个过程紧密集成到单个蚀刻操作中。它包括用于高效多阶段批处理操作的高级自动化,将流程配方存储在内存中,并迅速召回以供将来使用。该系统配备了工艺配方指导、实时监控、故障检测和自动关机功能，以保证产品质量。此外，该工具还支持数据收集和前瞻性报告，以改进流程和节省材料成本。9608 PTX小巧可靠，功耗低。它确保过程安全进行，不受污染。为了获得一致的吞吐量和最佳的产品质量,LAM RESEARCH提供技术支持和产品培训,以及一整套诊断工具和预测性维护计划。灵活和易于维护的工具提供了令人印象深刻的产量工业性能，使过程和操作优化。