二手 LAM RESEARCH A6 #293821538 待售

LAM RESEARCH A6是一款多室、多工艺的蚀刻器/asher,可为各种应用程序提供快速、可靠的蚀刻和灰化功能。A6是一种坚固、高产且可靠的设备，可有效蚀刻大小不一的基材尺寸。该系统由两个独立的、温度和压力控制的加工室组成，有一个大而宽敞的加工室适合较大的基板，多个较小的室适合较小的基板。这允许根据应用程序的需求进行可变基板处理。该单元具有可独立编程的气流和压力,允许在各种材料上优化工艺流程和快速循环时间。此外，机器允许最大程度的灵活性，在基板加工与每个腔室最多四个基板支架。LAM RESEARCH A6还包括先进的腔室设计特性，如自动腔室冲洗、多腔旁路、双鼓风机旁路、腔室侧壁装卸等。此外,使用A6的湿法和干法都可以使用户降低运营成本并提高产量。LAM RESEARCH A6也与广泛的气体兼容，如CF4、SF6、NF3和Ar。最后,A6具有内置的多腔过程优化功能,使其具有高度可靠、高效和用户友好的特点。