二手 LAM RESEARCH AE 480 #9214116 待售

LAM RESEARCH AE 480是一款先进的蚀刻/asher设备，旨在达到最高级别的工艺控制、精度和晶圆吞吐量。配备强大的蚀刻烘烤能力，AE 480可处理多硅栅极蚀刻、源/漏蚀刻、晶圆清洗等广泛的半导体应用。LAM RESEARCH AE 480采用全自动工艺和最先进的工艺控制技术,可帮助客户提供最佳的质量、产量和吞吐量。AE 480采用50晶片负载锁定系统,提供独特、高效且经济高效的晶片处理和存储解决方桉。它能够处理大尺寸的"四分之一切削"晶片（直径最大为12英寸）,无需任何手动干预即可将其从蚀刻器/石膏转移至或从蚀刻器/石膏中转移。LAM RESEARCH AE 480还具有先进的实时过程控制单元，允许在整个过程周期中保持优化的腔室压力、电压和气流。AE 480 蚀刻器/asher由灵活的双频HF源提供动力,可提供无与伦比的蚀刻和烘烤吞吐量。它的模块化设计使客户能够定制其系统以满足其特定的制造要求。此外，其先进的工艺气体输送能力有助于维持高蚀刻速率，同时其高温烘烤能力确保所有晶片层的最大均匀性。LAM RESEARCH AE 480还为客户提供增强的可维护性。该机采用开放式体系结构设计，可轻松升级，配置机器人和补给系统、散热系统和输送机等第三方组件。此外,AE 480还具有适合客户的网络结构,支持内部和远程诊断与维护。凭借先进的功能和强大的工具设计,LAM RESEARCH AE 480为客户提供了无与伦比的性能,可帮助他们满足所有半导体制造需求。AE 480具有无与伦比的过程重复性、先进的过程控制和高吞吐量功能,是实现最高产品质量和产量的理想蚀刻器/蚀刻器。