二手 LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE #293591992 待售

LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE是一款超高精度晶圆加工的先进蚀刻器/aser。该设备专为大批量生产而设计,具有先进的过程控制和优化的设计,以实现快速可靠的结果。该系统适用于一系列工艺，如RIE、CMP和蚀刻。LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE是一种可定制的蚀刻解决方桉,具有自动调整功能,允许用户快速优化工艺参数并确保整个基板的均匀性。它配备了拥有2至8个控制区的快速扫描头，以及高清光学传感器和实时反应分析。其快速的过程初始化和调谐减少了停机时间，使其适合大批量生产。LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE还提供精确的蚀刻气体剂量和方向控制，以及惰性环境和优化的气体输送。这使得精确的处理能够在垂直和水平方向上提供精确的目标和可重复的结果。它进一步在蚀刻配方和调整关键工艺参数方面提供了灵活性。LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE的过程控制允许高效且可重复的晶圆处理，还配备了一个全职、车载MES（制造执行单元），用于改进过程管理。它的设计考虑了模块化,允许有效地集成到现有流程中,以及快速轻松的升级。LAM RESEARCH Alliance 4.1 9400 SE使用业界领先的硬件和软件实现超精密晶圆处理的最大吞吐量和精确控制。它是一种经济高效、可靠的高批量生产解决方桉,并辅以业界领先的支持机器。凭借其先进的特点和精确的控制，这种工具使超高精度晶片的大批量生产成为现实。