二手 LAM RESEARCH Alliance 4.1 #293587281 待售

LAM RESEARCH Alliance 4.1是一个半导体蚀刻/aser平台，能够为半导体行业提供精密蚀刻、溅射和物理气相沉积服务。设备建在11英寸乘10英寸的平台上，并配有两个4英寸PVD（物理气相沉积）室。该平台支持各种工艺，包括蚀刻和清理基板以及在基板上沉积保护层。它还提供单层和多层沉积、薄膜沉积和微机电系统的蚀刻。Alliance 4.1能够处理4英寸的最大晶圆尺寸，可以处理硅、二氧化硅、光敏等多种材料。此外，它的内置控制系统允许完全控制蚀刻过程，包括定时和过程参数，从而产生可重复和可重复的结果。Alliance 4.1符合人体工程学设计,旨在优化工作流并允许轻松访问所有组件。此外，该系统还具有高分辨率的制图能力，可以对晶圆的变化以及晶圆上的温度分布进行制图。该单元还允许额外的工艺能力，如沉积嵌入式膜和多层应用的多金属膜。Alliance 4.1能够提供过程监控和实时诊断,使工程师能够确定蚀刻过程的状态。此外,它还提供了一个标准配方库,以简化编程,并且与行业标准软件平台兼容。此外，该机器还配备了内置安全工具，以提供安全可靠的操作。总体而言，LAM RESEARCH Alliance 4.1为半导体行业提供了先进可靠的蚀刻平台。它具有各种有用的功能，如过程监控、高分辨率映射以及与行业标准软件平台的兼容性，这使得它成为任何需要精密蚀刻或沉积的应用的绝佳选择。