二手 LAM RESEARCH Alliance 4520 XL #9255806 待售

LAM RESEARCH Alliance 4520 XL是一款高性能蚀刻器/asher，旨在为半导体器件提供准确、高效、可重复的蚀刻和灰化工艺。该设备具有高精度的浴缸,具有出色的蚀刻和灰烬特性,确保了可重复的过程,从而实现了可靠的设备性能。该蚀刻器/灰化器利用传统蚀刻和电化学灰化（ECA）工艺,以最高的产品产量提供优异的效果。Alliance 4520 XL提供高级功能,例如超低失真浴设计,以确保蚀刻和灰烬工艺是可重复的。一个紧凑的浴缸尺寸可以改善均匀蚀刻和灰分结果的输送。这种装置还具有业界领先的双斜玻璃盖，在使用传统型号时将玻璃浮力往往难以预测的范围降至最低。这样可以在整个浴缸中均匀地进行出色的蚀刻和灰分处理。LAM RESEARCH Alliance 4520 XL还具有独特的基于等离子体的蚀刻和灰分工艺,它利用高能过程在更短的时间内提供更好的蚀刻和灰分。此过程还可以扩展以满足客户的需求。蚀刻器/asher还拥有快速自动化的过程,可提高吞吐量,从而无需手动干预。Alliance 4520 XL的附加功能包括强大的控制系统，允许精确控制温度、气体浓度、功率和曝光时间等过程参数。设备还提供有关输入参数的反馈,以确保过程保持精确。此反馈还用于检测和纠正任何异常蚀刻和灰分过程。此蚀刻器/asher还设计用于易于维护,具有可从控制面板触发的自清洁系统。它还具有简单的部件更换过程,以最大程度地减少停机时间并最大程度地提高正常运行时间。LAM RESEARCH Alliance 4520 XL是需要精确、可重复蚀刻和灰烬处理的应用程序的理想解决方桉。其先进的功能和可靠的性能将确保客户能够在整个生产过程中实现一致的设备产量。