二手 LAM RESEARCH Alliance 4720 #9192401 待售

LAM RESEARCH Alliance 4720是一种高度可靠、全自动、批处理型、感应耦合等离子体（ICP）反应器，用于蚀刻和灰化过程。它是一种高度可控的体积加工设备，非常适合生产类型的蚀刻和灰化。该系统能够在单个设置中运行多个流程配方,从而可以精确控制流程变量。该单元具有四功能核心,可产生优异的蚀刻/灰化效果。它采用三轴机械机械臂设计，用于在封闭环境中精确处理晶片，并采用自动晶片处理机，以确保晶片的安全高效处理。此外,Alliance 4720还配备了动态气体控制工具、温度控制模块、压力控制模块和安全联锁资产,以防止操作不当。该模型的动态气体控制设备可实现精确的蚀刻/灰化参数,这些参数是满足当今苛刻的制造要求所必需的。温度和压力控制模块提供一致的过程加热和压力控制。还包括一个opto气体分析仪，用于实时连续监测工艺气体。LAM RESEARCH Alliance 4720得到了现有最可靠的气体和化学输送系统的支持。它采用LAM的高级通信和控制器体系结构,允许对应用程序进行远程修改、控制和监控。它支持操作员界面和自动控制。该系统还包括用于跟踪温度、压力和气流的标准维护报警。此蚀刻器/asher可以处理多达6英寸的晶圆直径。它在各种基材上的均匀蚀刻/灰化性能和不同的工艺要求确保了可靠和可重复的结果。Alliance 4720还能够同时处理多达40个晶圆的盒式磁带，使其适合晶圆级生产。此外,该设备还通过LAM Alliance Certified计划进行认证和维护,以保证提供最高质量的组件。