二手 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293666065 待售
网址复制成功！
单击可缩放
ID: 293666065
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Oxide etcher, 8"
Non-functional
Robot: MAG 7 (Dual end effector)
(2) Chambers
Wafer type: Notch, 26 slots
EMO Guard ring
SECS/GEM Interface
TCP9100 Process module
Pendulum throttle valve
VAT 65 Gate valve
65046-PH52-ADE1 VAT Step motor
650PM-36PM-1004 VAT Adaptive pressure controller
Gas panel exhaust flange
Gas Pallet Chamber 1 and 2:
Ar (500 sccm, Analog) FC-780C
O2 (2000 sccm, Analog) FC-780C
C4F8 (50s ccm, Analog) FC-780C
CHF3 (100 sccm, Analog) FC-780C
C5F8 (50 sccm, Analog) FC-780C
CH2F2 (100 sccm, Analog) FC-780C
O2 (30 sccm, Analog) FC-780C
CO (200 sccm, Analog) FC-780C
Power supply: 208 VAC, 60 Hz
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX是一款先进的蚀刻器/asher,旨在提供非常精确的蚀刻和灰化工艺。利用不同的等离子体来源，包括射频激发和微波激发，Alliance 9100 PTX在单个工具中提供了最高水平的精度和效率。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX采用模块化设计,可实现最大性能和生产可靠性。其刀具组件设计用于高度精确的对齐和可重复性,使其能够在蚀刻和灰化过程中提供最大的准确性和均匀性。它还提供两种不同的工艺,具体取决于需要蚀刻或粉刷的材料。第一个是低压蚀刻器/asher，第二个是大气压力等离子体（APP）系统。这使得机器能够为多种材料提供最合适的工艺，包括聚合物、多晶硅和非硅器件。Alliance 9100 PTX是一种高度可定制的工具,允许用户自定义流程参数以满足他们的确切要求。它还可以与LAM的专有EPT2过程控制系统集成,使用户可以访问高级过程控制,以确保在多个运行中实现可重复、优化的蚀刻和灰化结果。各种蚀刻和ashing配置也可用于满足不同的需求。总体而言,LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX是满足业界领先制造商高度精确的蚀刻和灰化需求的理想解决方桉。它提供了始终如一的超出预期的可靠结果,为各种材料和应用程序要求提供了卓越的准确性和可重复性。它还提供了无与伦比的灵活性和过程控制,允许用户快速调整过程参数以确保可重复、优化的结果。
还没有评论