二手 LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX #293754418 待售
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ID: 293754418
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Oxide etcher, 8"
Non-functional
Robot: MAG 7 (Dual end effector)
(2) Chambers
Wafer type: Notch, 26 slots
EMO Guard ring
SECS/GEM Interface
TCP9100 Process module
Pendulum throttle valve
VAT 65 Gate valve
65046-PH52-ADE1 VAT Step motor
650PM-36PM-1004 VAT Adaptive pressure controller
Gas panel exhaust flange
Gas Pallet Chamber 1 and 2:
Ar (500 sccm, Analog) FC-780C
O2 (2000 sccm, Analog) FC-780C
C4F8 (50s ccm, Analog) FC-780C
CHF3 (100 sccm, Analog) FC-780C
C5F8 (50 sccm, Analog) FC-780C
CH2F2 (100 sccm, Analog) FC-780C
O2 (30 sccm, Analog) FC-780C
CO (200 sccm, Analog) FC-780C
Power supply: 208 VAC, 60 Hz
2000 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX是为下一代半导体加工而设计的蚀刻/灰化工具。9100 PTX具有高功率和高精度,非常适合复杂的设备制造,具有广泛的工艺流程。其卓越的蚀刻/灰烬性能,加上先进、高效、可靠的处理能力,使其成为要求最苛刻的设备和材料处理应用的理想选择。Alliance 9100 PTX能够进行干式和湿式蚀刻/灰分操作,从电介质的快速蚀刻/灰化到金属的选择性蚀刻/灰化的超精密工艺。它具有高速提取/压缩过程,可确保快速蚀刻/灰分吞吐量,并具有边到边的均匀性和最小的损坏。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX还采用了先进的酸抑制系统，减少了蚀刻/灰化循环时间，从而提高了生产效率。Alliance 9100 PTX还提供了一系列高效且经济实惠的下游处理选项。这些包括卡带加载、SCARA机器人卡带传输系统，以及垂直和/或水平单卡带加载和卸载方法。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX还具有全自动晶圆释放和卸载功能,消除了操作员的努力。这样可确保提高吞吐量性能并提高设备产量。Alliance 9100 PTX有一个直观的操作员界面，它提供了最佳蚀刻/灰操作的所有必要控制。它还具有用于创建高级配方的内置配方编辑功能,以及用于准确分析蚀刻/灰化结果的强大数据日志功能。LAM RESEARCH Alliance 9100 PTX支持现代通信协议，如以太网，允许用户从任何方便的位置轻松连接和访问蚀刻/灰烬数据。总体而言,Alliance 9100 PTX是一种高级蚀刻/灰烬工具,专为要求最苛刻的设备和材料处理应用而设计。9100 PTX具有高功率、精确度和高级功能,可提供可靠的蚀刻/灰化性能,减少循环时间并提高设备产量。
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