二手 LAM RESEARCH Alliance 9400 DSiE #9082559 待售

LAM RESEARCH Alliance 9400 DSiE是一款用于先进半导体生产的高端蚀刻器/asher。设计用于电阻材料和介电材料的精密、高精度蚀刻和灰化。它具有模块化的体系结构,允许进行可定制的操作和预先安装的工艺配方,以实现最佳半导体生产。9400 DSiE拥有由25千瓦电源供电的高温高性能感应炉。这种感应炉提供精确的温度控制，温度范围为40至1700 °C。它也是为低压或真空操作而设计的，有一个蒸发器能够向下泵送至纯真空。9400 DSiE还有一个红外高温计用于精确的温度测量。9400 DSiE拥有八个独立控制的气阀，数字流量计控制。它配备了快速连接的歧管和低压降、恒流分配系统。9400 DSiE还具有远程压力监控功能,可轻松控制蚀刻和灰化过程。9400 DSiE配备了先进的蚀刻和灰化技术，包括等离子体增强水蚀刻（PEAE）、离子束增强蚀刻（IBEE）、原子层沉积（ALD）。它还支持广泛的加工气体，包括氯气、氙气、氨和碳氟化合物。9400 DSiE的设计与宽范围的晶圆兼容，直径从200毫米到450毫米不等。Alliance 9400 DSiE结合了先进的技术和工程、可靠性和用户友好的操作。它是半导体生产中先进蚀刻和灰化工艺的理想选择。它极其可靠，易于使用，并且允许高度详细和精确的蚀刻和灰化操作。