二手 LAM RESEARCH Alliance 9400 #9035897 待售

LAM RESEARCH Alliance 9400是一款高级蚀刻器/asher，设计用于半导体器件和材料的精确蚀刻和灰化。处理能力和精度对于通常需要严格制造公差的产品和技术至关重要。Alliance 9400设计用于处理高吞吐量、改进控制和降低成本的困难过程。LAM RESEARCH Alliance 9400具有先进的多区域加热圆顶和腔室设计,使高级设备结构的过程均匀性和特征轮廓最大化。多区域、可级联的圆顶可最大程度地减少中心到边缘的温度差异,并且不需要经过后处理退火。多区腔室的设计保证了水平热和等离子体均匀性与轴流通过独立的通风区。Alliance 9400是针对高级设备结构和过程的经济高效的解决方桉。其先进的等离子体源技术（APS）通过提供大量可配置参数，确保了每个应用程序更大的过程灵活性和高性能。LAM RESEARCH Alliance 9400还具有独特的自动化过程控制器,它允许灵活的配方,以最大限度地提高效率并最大限度地减少浪费。闭环过程控制系统监控过程性能，并实现确保准确性和可重复性的反馈控制算法。Alliance 9400为任何蚀刻或灰化过程提供了安全的环境。它具有自动化的过程控制量热计、变温操作、专用的火灾/烟雾警报系统、自动安全阀关闭系统等广泛的安全特性。LAM RESEARCH Alliance 9400还设计了集成式排气鼓风机，将空气传播颗粒和其他危险颗粒的风险降至最低。总而言之,Alliance 9400是用于精确工艺应用程序的高级蚀刻器/Asher,旨在实现最佳的效率、成本节约和安全性。它具有多区域加热圆顶和腔室设计，保持工艺的均匀性和特征轮廓精度，多区域腔室确保在安全环境中的热和等离子体均匀性，以及具有灵活配方的自动化过程控制器，以实现最高性能和最小浪费。