二手 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764316 待售

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX是半导体行业的蚀刻器/asher。该工具用于从铝到硅和光致抗蚀剂的多种材料的图样、去除和掺杂。由于其可扩展性、灵活性、高吞吐量和低拥有成本,它被设计用于各种生产方桉。Alliance 9600 PTX的核心是它的蚀刻和灰化能力。该单元配备了双级RFpowered干蚀刻/灰化系统，用于对离子束的精确控制。此解决方桉能够去除5纳米（nm）以下的层,典型的工艺窗口为0.03-10nm。该系统能够蚀刻金属、氧化物、氮化物、多晶硅和其他用于生产半导体器件的材料。该机还包括一个高真空兼容的安全快门，以防止气体或颗粒在蚀刻和灰化过程中逸出。还包括其他真空组件，如涡轮分子泵，以改进蚀刻性能和控制。这确保了广泛应用程序的可重复蚀刻和灰化过程。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX拥有强大但易于使用的图形用户界面，简化了流程设置和监控。它的双计算机接口（DCI）集成允许控制器位于距离蚀刻/灰烬刀具50米的位置,从而使机器测量和调整端口可以从方便的外部位置访问。最后,还提供了一个载荷锁定选项,允许将工件自动载入蚀刻和灰化室。该机器允许与生产自动化系统集成,使流程能够轻松自动化,并以最小的努力进行监控。总而言之，Alliance 9600 PTX是用于生产半导体器件的各种材料蚀刻和灰化的强大且经济的解决方桉。它占用空间小、具有蚀刻/灰烬功能、集成的安全快门、强大的GUI和灵活性,使其成为任何生产环境的理想工具。