二手 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #293764644 待售

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX是为半导体和其他材料加工而设计的高级蚀刻器/asher。该设备设计用于光刻剥离、深硅蚀刻和金属蚀刻。Alliance 9600提供了高精度的工艺控制,包括各种工艺模块,以实现对各种基材和工艺的精确控制。对于精密应用，Alliance 9600支持使用几种类型的蚀刻气体，以及变温处理和高度精确的压力控制。该系统还提供冷却功能、自动晶片位置调节、真空和真空密封调节、多过程运行配方、远程监控和自动化过程数据收集。该装置还设有一个自动晶圆转换机，用于蚀刻和灰化过程。Alliance 9600 PTX配备了精确的气体输送工具，能够精确控制蚀刻气体和温度。该资产还设有用于监测蚀刻气体分子的气体监测仪，以及用于长期储存的集成气瓶。气瓶使用柔性软管连接到模型，从而使设备牢固地连接到过程中。该联盟还提供先进的光刻胶去除设备,包括喷嘴、洗涤器、可选的洗涤器延伸件和斜角刀片等集成组件。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX提供全面的工艺控制,包括一整套工艺气体配方。它还具有基于配方的工艺监控和可选的自动温度控制功能,可在多个基板上实现均匀的蚀刻深度。Alliance 9600机型配有四级、低压电源和两个带有RS-232串行访问的独立电源，以及一个可以通过定时锁定编程的安全互锁。该系统还具有可选的手动或自动压力调节功能,可用于手动压力控制。Alliance 9600 PTX是一个全面的蚀刻-asher封装，设计用于各种材料的精密处理。其气体输送单元、温度控制、压力控制提供了精确的过程控制。其多种可选的自动和手动过程控制功能，如配方、气体监视器、自动晶片定位、真空和密封调节，使其成为严格蚀刻和灰度要求的理想选择。