二手 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9233428 待售
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ID: 9233428
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Etcher, 8"
Transfer chamber:
VCE Type: LIP Seal
Aligner: 001-4130-03
Transfer robot: BROOKS Magantran 7
ARM Type: Dual thin blade
Rocker valve P/N: 715-012208-001
LL & TM Pressure gauge: HPS Series 907 / MSK
Cooling station
Turbo pump model: STP-H200C
Etch chamber: PM2 / PM3
Turbo pump: STP-1301L / STP-H1303CV3
Chamber: TCP 9600 PTX
Pressure gauge: MSK E29B-23813 (0.1 Torr) / 625A11TDE (10 Torr)
Throttle gate valve: VAT 65046-PH52-AFI1 / 0052
Source RF generator: RFDS 660-024637-006
Bias RF generator: RFG 1250 HLAO
Configuration of MW chamber: PM1 / PM4
Chamber: Alliance stripper
Throttle gate valve: VAT/64040-PE52-1009/0429
MW Generator: ASTEX FI10021
MFC:
PM1: O2 5000sccm / N2 1000sccm
PM4: O2 5000sccm / N2 1000sccm
Gas panel / Etch chamber: PM1 / PM4
Gas panel: 8 Channels
(6) Gas channels
MFC Model: TYLAN 2950 Series
Gas: PM1 / PM4
Ar 100 sccm
CHF3 100 sccm
O2 200 sccm
N2 50 sccm
CL2 200 sccm
BCL3 200 sccm
AC Rack:
Power supply: 208 VAC, 400 A, 50/60Hz, 3 Phase, 4 Wire
1998 vintage.
LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX是一款先进的蚀刻/asher设备,旨在集成尖端加工技术,以获得最精确的蚀刻和灰化结果。该系统为用户提供了更高的性能、更高的吞吐量、更高的正常运行时间和更低的运营成本。Alliance 9600 PTX能够处理75mm至152mm的基板。该单元旨在为半导体行业的蚀刻/灰化需求提供极快的周期时间。Alliance 9600配备了高端特性，用于优越的材料加工。利用PEDC技术,超短脉冲可实现极其精确的蚀刻/灰化,从而方便生产密度越来越小的设备。该机还设计用于同时适应湿法和干法蚀刻/灰分工艺。Cross-Flow滤波器具有集成的灯丝,可快速恢复加工后副产品。加热滚筒的设计提供了极好的均匀性，通过改进的多区温度控制使表面地形变化最小化。集成收集器存储用于废物收集的后处理晶片。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX还提供高级控制能力。升级后的InfinityFlex™ Control是一个全面的软件包,它提供了许多功能强大的功能,例如实时流程和配方跟踪、预测性维护、配方优化和远程诊断。该工具还为简单直观的用户界面提供了单键操作和自动校准。还利用现场计量资产优化了工艺精度，以确保产生精确、一致和可重复的结果。Alliance 9600 PTX是一种可靠且功能强大的蚀刻器/asher系统,为半导体行业的各种蚀刻/灰化工艺提供了先进的功能。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX模型具有全面的控制能力和更高的吞吐量,有助于降低刀具的复杂性和成本,同时减少停机时间并最大限度地提高流程效率。
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