二手 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9299377 待售

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX是一款高效的蚀刻器/asher,专为提高处理吞吐量、减少占用空间和并行处理能力而设计。这种晶圆处理设备是一种批处理式系统，具有宽广的工艺窗口，可以实现更高的效率和多功能性。它提供各种工艺化学选择，包括液化和气化化学。该单元具有双负载锁定站、8英寸晶圆传输以及并行处理功能。这台机器的主要优点包括能够简化负载锁过程，提高清洁效率和重复性，以及能够精确控制蚀刻过程化学。坚固的过程控制和自动化使得该工具非常适合同时进行蚀刻和灰分处理，以提高产量和更好的可重复性。该资产还具有多区域批量控制功能，以加强整个过程的监测，使即时化学和作业能够实时改变。Alliance 9600 PTX是一款可靠的蚀刻器/asher，设计用于在处理过程中承受极端条件，并配备高速CPU、专用视频型号、过程控制软件、全彩色触摸屏以及真空压力监视器。它的模块化设计使其具有高度的灵活性,因此可以根据需要配置不同的工艺模块,包括硅化物、蚀刻、灰烬和其他标准。此外，该设备采用智能CVDTM薄膜沉积技术进行实时控制，增强晶片上沉积薄膜的均匀性。LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX配备了智能工艺监控（IPM）技术，可持续监控贯穿过程的参数并自动调整刀具设置，同时确保包括预清洗、蚀刻和排放后清洗在内的工艺步骤得到准确执行。该系统的最大吞吐量为每小时300晶圆,非常适合当今晶圆处理的需要。