二手 LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX #9389921 待售

LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX是一款高通量蚀刻器/asher，专为大批量灵活生产半导体器件而设计。9600 PTX提供了极低的颗粒数量和卓越的材料去除均匀性,每小时高达227晶圆的惊人吞吐量。该设备提供先进的技术,确保快速、可靠和经济高效的等离子体蚀刻和清洁操作。该机由先进的多区域等离子体源组成，用于精确灵活的蚀刻。先进的腔室设计可确保晶圆不同区域的均匀性得到控制，从而有助于生产高精度的器件。该设备包括一个真空泵送系统，能够处理高达80托，以及一个增强冷却剂单元，提供晶圆，电极，和热过渡的最佳冷却。此外,Alliance 9600 PTX还包括高级RF电源传递和控制系统。专有的高级工艺控制（APC）算法保证快速、准确地完成所需的蚀刻或清洗过程。可变工艺压力控制还允许在蚀刻和/或清洁操作期间设置和维护精确的腔室压力。总体而言,LAM RESEARCH Alliance 9600 PTX凭借其高精度和高吞吐量,是对任何需要快速、可靠蚀刻和清洁的生产线的完美补充。由于其简化的设计和操作机器，工艺工程师可以对蚀刻和清洗过程进行准确、快速的编程、设置和监控。机器也是高度可配置的，允许用户随时调整其功能和操作过程，以确保一致的结果。