二手 LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL #9169591 待售

LAM RESEARCH Alliance A4 4420XL是一种蚀刻器/asher,专为需要高容量、高分辨率蚀刻的各种应用而设计。它设计了一个模块化平台，使它能够处理一系列蚀刻过程。该机具有4室结构，第三室用于硅锰材料的各向同性蚀刻。它提供精确的过程控制和广泛的过程参数，允许用户将复杂的结构蚀刻成一系列材料。A4 4420XL具有板载高效动力气体输送装置,可提供高度控制、可编程、高精度的蚀刻解决方桉。蚀刻过程取决于试剂、压力和温度的组合，LAM RESEARCH开发了特定的试剂配方和定制气流，以产生最佳的结果。该机还配备了光学边缘检测系统，使其能够精确蚀刻高精度结构，而多级压力表则提供连续反馈进入工艺室，允许长时间蚀刻均匀性。这种蚀刻器/灰化器能够以高达0.01微米/秒的速率进行蚀刻，从而为一系列基材提供了广泛的蚀刻厚度。它还提供灵活的过程控制,能够调节气流、压力和温度以满足多步骤过程,如层移、厚膜金属蚀刻或切丁。此外，A4 4420XL的设计与一系列晶圆支撑表面兼容，从玻璃和石英到硅和低k器件。综上所述,LAM RESEARCH ALLIANCEA4 4420XL是一种高精度的蚀刻器/asher,可为用户提供一种通用的解决方桉,用于各种蚀刻和灰化过程。它提供了一个高效的封装，一个精确的过程控制系统，高精度的蚀刻，和一系列的基板。光学边缘检测系统和多级压力表等多项功能确保它能够为大量使用的应用程序和低容量应用程序提供一致的精确结果。