二手 LAM RESEARCH Alliance A4 4520 #9272823 待售

LAM RESEARCH Alliance A4 4520是一款蚀刻器/asher，设计用于高级阵列应用。它是一种多源蚀刻工具，具有全自动基板定位器、集成晶圆处理、高沉积效率反应器等先进的自动化功能。该设备具有高通量的生产能力,可提供高度精确的蚀刻结果。该系统能够处理直径不超过200毫米的基材，并能容纳氧气、氙气、氮气和氯气等一系列加工气体。它还拥有具有高端真空涡轮技术的多级蚀刻室，以支持高压作业。先进的调节器和控制器单元能够调整纳秒范围内的蚀刻速率，从而获得精确的蚀刻结果。Alliance A4 4520上的集成晶圆处理机包括架空装载机和在歧管顶部精确跟踪基板的子系统。晶圆处理程序子系统有一个内置的视觉工具，使用光学传感器监视基板的位置和方向，以确保与电极对准。该室还设有自动等离子体监测和控制资产，用于跟踪和调节蚀刻前和蚀刻后操作中的等离子体。LAM RESEARCH Alliance A4 4520还采用了射频供电模式,其功率级别范围广泛,可用于各种应用。该工具能够以高维精度创建水平曲面。它还提供了可选的高剂量成像设备,用于高通量、低剂量成像和超高分辨率成像。Alliance A4 4520是高级阵列应用的绝佳选择。它提供高吞吐量的精确控制,并配备集成的自动化功能,以实现高生产率。集成的晶圆处理系统、自动等离子体监控器以及射频输电机使这种蚀刻器/灰化器成为一种高效可靠的蚀刻工具。