二手 LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE #9169592 待售

LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE
ID: 9169592
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Etcher, 8" 1997 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE是一款用途广泛的蚀刻器/asher,旨在为同时蚀刻/研磨过程提供全面的资源。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE是一个单件集成单元,包含一个平台内的蚀刻和灰化元素。这款高性能设备可提供快速的蚀刻处理时间(最多15 cm2/min)、提高的生产率和高产效果。Alliance A4 9400SE提供独有的程序功能,包括自动化和用户友好的触摸界面,并丰富了所有必要的设置,以提供最佳的用户便利。该系统配有大型24位彩色显示屏和15 x 5英寸全彩色触摸屏,用户友好操作。ALLIANCE A4 9400 SE利用四个独立的温度区进行热蚀刻过程,温度范围最大为500 °C,用于选择性蚀刻和粉刷沉积物。集成的气流调节器可以精确控制气体特性和分布。热晶片升降机提供了一种基于实验参数和样品设置的自动参数调整。可以在多个方向上分别对每个组件进行调整,以确保获得完美的结果。此外,LAM RESEARCH Alliance A4 9400SE蚀刻器/灰化器为湿蚀刻和干蚀刻提供了工艺多功能性,包括能够蚀刻多种材料,如硅、氮化​​铵(GaN)和磷化铵(InP)。它还为各种基板配置提供了高分辨率通道和低角度提升器,从而提高了生产效率和产量。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9400 SE 蚀刻器/asher提供卓越的服务质量(QoS),具有优异的安全等级,以及对设备状态和耗材的实时监控。集成的自动报警机会迅速向操作员发出任何工具故障的警报。Alliance A4 9400SE还包括远程访问功能以及与SCADA控制系统的兼容性。总体而言,ALLIANCE A 4 9400 SE为各种材料提供了全面的蚀刻/灰化解决方桉,提供了高产率和卓越的精度,同时保持了较低的运营成本。这种用途广泛、易于使用的蚀刻器/asher是高科技工艺的理想选择。
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