二手 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #293627729 待售
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ID: 293627729
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Etcher, 8"
Process: Metal etch / strip
(2) Chambers
(2) DSQ Strip chambers
(2) Noah 3300 chillers with controllers
(2) Cassette load / unload platens
8-Line gas box
Remote operator system
Remote gas box assembly
Remote power distribution box
Gas used: Boron trichloride, chlorine, sulfur hexafluoride, oxygen, nitrogen, argon
Operating system: Next 3.3
Does not include TM Robot
Missing parts:
Wafer aligner
VCE Board
VME Board
1996 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE是一款高级蚀刻器/asher,专为高吞吐量、可靠性和过程灵活性而设计。它能够处理广泛的基板，包括硅、III-V半导体、玻璃、金属和陶瓷。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE具有多室设计,允许同时蚀刻和粉刷垂直和水平晶片。它配置有四个处理室,包括一个专用的ashing工作站。独特的"涡轮"模式加速蚀刻和灰化，允许较低的温度处理，减少加工过程中的压力漂移。此外,大容量的过程程序可实现高吞吐量和可重复处理,以实现小批量和大批量生产。Alliance A4 9600SE设计为易于使用,具有直观的操作员界面以及与多处理工具集成的能力。此外,它的高级流程监控功能提供了详细的流程性能反馈,并允许根据所需的性能结果手动或自动调整流程参数。ALLIANCE A4 9600 SE 蚀刻器/asher高度可定制,提供多种工艺配置和选项,包括蚀刻后清洁、离子源和源电源脉冲、基板跟踪和工艺日志。加上旨在保护用户和加工设备的安全功能,LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE为大容量蚀刻和灰化应用提供了显着优势。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE是一款先进的蚀刻器/asher,它提供独特而灵活的处理环境,以满足任何半导体制造工艺的需求。它的多室设计、快速的处理速度、直观的操作员界面和定制配置使其成为需要高吞吐量和可靠性的高级流程的理想选择。
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