二手 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9098133 待售

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE是一种全自动蚀刻器/asher,通常用于半导体制造。该设备为用户提供了精密化学机械平面化（CMP）集成电路（IC）基板平面化的多种选择,并且能够蚀刻（或灰化）多种材料,包括金属、电介质和聚合物。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE能够对任何有图样或无图样的IC晶片提供均匀的化学反应。该系统由几个工艺模块和组件组成，包括一个化学品输送和回收单元、一个晶圆处理机、一个机器人/盒式装卸机、一个气体输送工具和多个工艺室。化学输送和填海资产可配置为输送多种蚀刻和灰化化学品，包括硫酸、过氧化氢和盐酸。气体输送模型控制着工艺室的压力和流量，能够引入氧气、氮气、氯气、氟气和其他工艺气体。晶片处理程序是Alliance A4 9600SE中最关键的部分,负责在加工室和机器人/卡带处理设备之间传输晶片。晶圆处理程序使用内部开发的名为"LaserLAB"的软件包进行控制，该软件包提供了监测和调整蚀刻或灰烬工艺所需参数的选项，如温度、流量、压力和暴露于工艺气体。ALLIANCE A4 9600 SE具有若干安全集成功能。例如，一个紧急关闭开关位于每个蚀刻或灰化室的上方，设计为在出现任何紧急情况时启动，如过温、高气压、电源故障等。此外，自动化系统的设计目的是通过装入一个负责从环境中清除任何化学蒸气或加工气体的排气装置，最大限度地减少接触危险化学品或气体的风险。总体而言,LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE是一款高性能、自动化的蚀刻和灰化机,能够为用户提供高效、可靠的半导体制造材料处理。该工具的安全集成功能降低了接触危险化学品和气体的风险，使LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE成为CMP处理的安全可靠平台。