二手 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9098137 待售
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已售出
ID: 9098137
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Transport module, 8"
Wafer configuration: SEMI
VCE Doors: Automatic
VCE Seal: Bellows
VCE Platform: Cassette
Alliance remote AC box
TCU / Pumps remote AC box
Remote UI
Light tower: No
Cool station: No
Pumping configuration: Single
Gas panel: Integrated
Auxiliary equipment:
Chiller & monitor rack
Remote power module (RPM)
Integrated gas box
(4) Pumps
Monitor rack
Turbo control rack
(2) Chillers
AC Power box and other support components
EMO Cable length: Not included
No process modules included
1995 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE 蚀刻器/asher是一种定制设计的机器,具有最新的精密蚀刻和灰化技术。此蚀刻器/asher能够生产非常适合要求苛刻的制造过程的高精度零件。A4 9600SE采用独特的三轴设计,具有两个大的工作曲面,非常适合最复杂的蚀刻应用。该机的设计包括一个易于使用的前置装载甲板，提供方便的部件装卸，以及一个双级温度控制系统，准确防止材料过度或不足激活。A4 9600SE的精确度和性能至关重要,因为它能够使用多种材料和基板。该机器能够在基板的两侧进行蚀刻，同时比以前的机器更好的处理时间。此外,该机器的设计是为了安全和高效,具有许多保护用户和设备免受损坏的功能。该机器还具有基于配方的自动编程功能和内置的自动配方编辑器，使自定义设置和程序以优化蚀刻性能变得容易。该机的其他特点包括内置气体管线系统自动调节机器清洗和蚀刻过程的气流，以及消除有害溶剂的两级高压排气系统。总体而言,LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE蚀刻/灰化机直观、可靠且功能强大。Alliance A4 9600SE具有以前无法达到的精确度和性能,将在未来几年继续引领精密蚀刻应用。
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