二手 LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE #9161966 待售

LAM RESEARCH Alliance A4 9600SE是一种蚀刻器/灰化器，特别是为先进半导体制造而设计的湿式氧化物蚀刻器/灰化器设备。该系统是两个独立的电化学过程的组合-蚀刻和灰化，每一个都有自己的集成过程控制和安全系统。该单元设计为在整个蚀刻和灰化过程中提供高度的精度和均匀性。它还利用先进的性能控制，以确保氧化结果是精确控制和无条纹的。LAM RESEARCH ALLIANCE A4 9600 SE利用氯基溶液进行蚀刻。氯气通过含有高纯度氯气和氢氧化钠强缓冲溶液的电动液体输送机输送。这种氯溶液通过一个专门设计的反应室被泵送到使用先进的真空转移系统放置在真空中的基板上。在蚀刻过程中，氯离子与半导体反应生成氧化物。氧化物堆积由原位红外和区域探测器联合监测。灰化过程采用电弧放电和特殊气体溷合物。这种组合产生热等离子体流，使氧化物层变成蒸气，然后从反应堆腔中除去。在过程中，氧化物从基板汽化，可以通过调整电功率到电弧和气体组成来调节。Alliance A4 9600SE 蚀刻器/asher工具具有许多安全功能,包括一个集成的安全协议,用于监视和控制温度、压力和当前水平。资产还包括通过控制颗粒物水平、压力、光能和电流等环境条件来保护人员、材料和设备的措施。ALLIANCE A4 9600 SE是为优化操作和校准而设计的,为先进的半导体制造工艺提供了业界领先的性能。蚀刻器/asher模型提供卓越的控制、一致性和准确性,帮助设备制造商保持领先地位。