二手 LAM RESEARCH Alliance A4 #9114097 待售

LAM RESEARCH Alliance A4是一款先进的蚀刻/灰分处理解决方桉。它是LAM RESEARCH"全离子"产品组合中的旗舰产品,用于解决具有挑战性的蚀刻/灰分应用。与前代产品相比,该产品的设计可提供更高的速度和更好的均匀性。它是一个可配置的串联系统，能够蚀刻和粉刷一系列具有最高程度的过程控制和可重复性的基板。它具有较大的腔室尺寸,能够容纳大的基板尺寸,对角线尺寸可达11英寸,以实现高通量生产。Alliance A4配备了高性能等离子体源，即使在高源电压下也能产生低能等离子体。它可以在不影响速度或工艺参数的情况下实现跨蚀刻/灰分工艺的出色均匀性。其可配置的源设计允许修改离子源的形状和位置，以更好地适应基板或工艺要求。它具有独特的"反应性离子蚀刻"功能，非常适合深度蚀刻或高选择性应用。这允许使用远程离子控制在垂直方向上进行极其均匀的处理。LAM RESEARCH Alliance A4还具有广泛的工艺控制和监控选项，如端点检测、蚀刻后/灰烬分析、基板加热和冷却、高分辨率ChamberView系统以及完全集成的工艺控制序列。它还能够处理单晶片和集群工具中的基板，以提高生产率。Alliance A4旨在为最困难的蚀刻/灰分工艺最大化产量并提高吞吐量。它可以轻松地与晶圆晶圆厂自动化系统集成在一起,旨在以最小的停机时间和更高的生产率运行多个操作。该系统采用坚固的材料构建,在所有条件下均具有卓越的性能和可靠性。利用这些功能,LAM RESEARCH Alliance A4可以帮助客户实现最高的产品和工艺质量。