二手 LAM RESEARCH Alliance A4 #9138509 待售

LAM RESEARCH Alliance A4是专门为蚀刻和灰烬工艺而设计的高级蚀刻器/asher。A4具有独特的离子、热和光学蚀刻组合,提供高性能。它具有快速、可靠、可重复的过程，具有良好的过程控制和可控的等离子体能量。A4有一个定制设计的离子源，与传统的蚀刻器/asher设计相比产生明显更高的等离子体密度。A4还具有比其他蚀刻器/asher型号更高的工艺压力的大型开放式工艺室。这样可以实现更高的吞吐量和更高效的蚀刻速率。A4配备了使用CDA（化学依赖像差）技术的专利自动化工艺室。此技术有助于减少蚀刻特征的边缘变化,最大程度地减少蚀刻缺陷,并确保轮廓均匀。A4最多支持8个配方层，可用于同时运行多个蚀刻过程。其precisionLoadTM等离子体对焦设备提供了更稳定、更可重复的蚀刻速率以及完整的宏控制和诊断。A4还支持广泛的工艺预处理条件和工艺端点失谐。此外,高级流程监控还支持现场流程控制功能。A4适用于MEMS蚀刻、3D各向异性蚀刻、高级层间介电蚀刻、ceria各向同性蚀刻、半导体蚀刻等多种应用。它还支持各种工艺气体，使用户能够创建优化的蚀刻配方。A4提供了一个通用蚀刻平台,它与各种材料兼容,使用户能够为各种应用程序蚀刻各种工艺层。为确保操作安全，A4提供了先进的安全功能，如锁上等离子室门和低工作射频压力。A4的先进电路提高了系统可靠性，车载故障检测单元快速识别和报告潜在问题，允许快速纠正操作。A4是一种高效、可靠、精密的蚀刻机，非常适合蚀刻和灰分工艺流程。它为要求苛刻的半导体器件蚀刻工艺的吞吐量和工艺可重复性提供了显着的改进。