二手 LAM RESEARCH Alliance A4 #9195948 待售

LAM RESEARCH Alliance A4是一款先进的蚀刻/灰烬设备，旨在满足半导体器件制造的挑战性需求。Alliance A4采用封闭式平台进行双面蚀刻和灰化,可提供快速、精确的晶圆处理,既可靠又经济实惠。该系统旨在提供精确和可重复的结果。它具有四区蚀刻和灰化室，内置工艺和性能传感器，以确保最佳蚀刻和灰化质量。LAM RESEARCH Alliance A4还具有可编程气体反应元件，允许在蚀刻/灰分过程中使用不同的气体配方。利用此功能,用户可以定制蚀刻/灰分工艺,以满足特定的半导体器件设计要求。Alliance A4包括一个机器人手臂，用于可靠的晶圆处理。手臂可以被编程为快速准确地将晶片转移到腔室，并在蚀刻/灰烬区之间移动。该单元还包括一个集成的1微米颗粒状真空烤箱，以辅助灰化。LAM RESEARCH Alliance A4支持多种蚀刻/灰分工艺，包括湿法和干法蚀刻以及干法灰化。该机设计用于与标准实验室仪器和附件兼容，如直线和旋转电动机级、面罩清洗系统和面罩对准系统。此外，该工具还集成了特殊硬件，如基板加热系统、等离子体源和粒子探测器。该资产具有用户友好的界面,便于设置和操作。该模型还提供完整的食谱和食谱步骤编辑,从而可以轻松定制食谱以满足工艺要求。Alliance A4支持远程监控，使用户能够实时查看和跟踪晶圆处理结果。LAM RESEARCH Alliance A4是一款功能强大的蚀刻/灰烬设备，旨在满足半导体器件制造的需求。Alliance A4凭借其可编程的气体反应元件、机器人臂和直观的用户界面，提供了一种高效可靠的蚀刻和灰化工具。