二手 LAM RESEARCH Alliance A6 4520 #293820037 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 4520 Etcher/Asher是为半导体制造商设计的工业级蚀刻和灰化设备。它是一种高精度、低成本的机器，利用了不同几何形状的室大小的多功能组合。这样可以对不同的基板进行精确的蚀刻和粉刷。该机将精密的蚀刻/灰分参数与精密的气流控制相结合，具有极好的可控性和可重复性。Alliance A6 4520拥有先进的数字控制系统和动态腔室布局，可容纳高达6个基板尺寸，直径可达8英寸。LAM RESEARCH Alliance A64520设计了一个集成的数字电子设备,提供精确可靠的平台以确保最大程度的蚀刻/灰分性能。该机器提供重型、风冷和水冷电容器和热电偶，以及控制蚀刻/灰烬工艺的各种选择。为了加强过程控制,可以为机器配置PID控制器以设置恒定电流和温度。从0.5到50毫秒的可调脉宽允许精确的蚀刻/灰烬控制,而其他蚀刻/灰烬系统无法实现这种控制。而且，Alliance A6 4520提供了气体分解和分析的集成解决方桉，具有革命性的真空尖峰检测工具。这一资产提供了一种独特的监测蚀刻/灰烬过程的方法，方法是检测工艺室内的气体尖峰，从而能够更快、更精确地控制蚀刻/灰烬过程。该模型还配备了集成射频发生器和吸附器，为高效清洁工艺室表面提供了高效的解决方桉。这款多合一设备旨在降低复杂性和工艺成本,同时实现最高级别的蚀刻/灰烬质量。LAM RESEARCH Alliance A6 4520是一个可靠而全面的系统，提供对关键蚀刻/灰烬参数最精确的控制。它是半导体制造商和研究设施的理想蚀刻/灰分装置。