二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTX #9309385 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTX是一种蚀刻器/asher，可用于半导体、MEMS/MOEMS和光学技术的多个晶圆处理应用。A6 9100 PTX旨在为更清洁的蚀刻提供更高的吞吐量和更高的生产率。该系统配备了具有多种灯丝选项的高速可靠预处理卡带，允许用户根据具体应用改变灯丝目标材料和尺寸。A6 9100 PTX还配备了两（2）个独立的负载端口，方便更大规模生产的高效装卸。A6 9100 PTX灵活的体系结构允许多种工艺技术与最多两（2）个能够配置用于蚀刻或灰化的腔室进行交换。A6 9100 PTX系统最多可装载3种基材进行蚀刻和灰化，基材尺寸从200毫米到300毫米不等。A6 9100 PTX的自动中心能力确保了基板与基板支架的精确对准，减少了定心偏差误差的可能性。此外，A6 9100 PTX旨在最大限度地减少粒子生成，在0.3微米时，ULPA的额定质量至少为15个原子质量单位。A6 9100 PTX还集成了自动化的100小时氮气洗涤器,以实现长期一致的蚀刻性能。此外,还可以精确控制和测量蚀刻温度,使其精度达到+/-2°C。嵌入式诊断软件还允许极其精确的过程控制和验证。A6 9100 PTX包含用于系统控制和监控的内置用户界面，可以直接从机器的键盘或从标准Web浏览器远程访问。利用集成的用户界面，用户可以轻松监控蚀刻和灰化过程的压力、质量、温度和其他关键参数。A6 9100 PTX还包括一个完整的食谱库，用于蚀刻不同的材料和基材，并具有优化的参数，以达到最高质量的结果。总而言之,Alliance A6 9100 PTX是一款高性能的蚀刻器/asher,在构建时考虑了灵活性、效率和质量控制。A6 9100 PTX集成的预处理盒式磁带、自动定心功能和全面的用户界面,能够处理多达3种尺寸范围为200mm-300mm的基板,使其成为可靠、精确的蚀刻和灰化工具。