二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #121362 待售
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ID: 121362
晶圆大小: 8"
优质的: 2004
Poly etcher, 8"
(3) 9400-DFM chambers
Transfer Module Type: A6
VCE Type: A6 API
Aligner: 011-2980-16 (0405-11887)
Robot Type: Magnatran-7
Arm Type: Twin ARM (black finger)
User Interface: CRT monitor, PC, keyboard, light pen, UPS, signal tower
Lid lifter: Air cylinder
Wafer detection system: exist
EMO hub: exist
Cable raceways: exist
PM slot valves: 853-442064-002
Signal Tower: 4 lamps (Red, orange, blue, blue)
PRS gauge-1 (VCE-1): HPS
PRS gauge-1 (VCE-2): HPS
PRS gauge-1 (VCE-3): HPS
PM-2, Gas Module:
Gas Range
CL2 100
HBR 200
O2 10
C2F6 100
SF6 20
SF6 200
O2 200
CF4 50
N2 50
PM-3, Gas Module:
Gas Range
CL2 100
HBR 200
O2 10
C2F6 100
SF6 20
SF6 200
O2 200
CF4 50
N2 50
PM-4, Gas Module:
Gas Range
CL2 100
HBR 200
O2 10
C2F6 100
SF6 20
SF6 200
O2 200
CF4 50
N2 50
2004 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM是蚀刻和粉刷各种基材的理想装置。这种高性能的蚀刻器/asher提供了一次蚀刻和粉刷多达9个1000 mm x 400 mm晶片的功能,并配备了1800 W RF电源。此外,它还拥有19英寸触摸屏显示屏和现代化的用户友好界面,支持高级流程控制。该系统有一个额外的大负载/卸载吊舱与可调臂，这意味着基板可以放置在设备上的精密和容易。它还具有强大的射频匹配网络和可调节的匹配,即使在高频下也能提供出色的蚀刻性能。LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM具备LAM先进的动态流动模式（DFM）蚀刻能力,可精确控制侧壁角度和底部蚀刻深度。这样可以实现更完整的蚀刻轮廓,减少锥度,减少过度蚀刻。这种蚀刻器/asher还提供了一整套气体化学过程，具有灵活的气体测序，并且工艺剖析选项允许在不同的基材上具有类似的性能。此外,高流量淋浴头阵列可确保一致的蚀刻均匀性。该装置的冷却再循环工艺室具有全面的超压能力，非常适合真空蚀刻/灰化应用。为进一步方便起见,Alliance A6 9400 DFM还提供远程监控和流程控制,允许用户远程管理系统并接收详细的流程报告。最后,其增强的安全功能使其符合最新的安全准则和CE标记法规。ALLIANCE A6 9400DFM是一款令人印象深刻的蚀刻器/asher,使用户能够以先进的控制和精确度实现可靠和一致的蚀刻和灰度处理结果。此设备结合了强大的功能、用户友好的界面和工艺功能,使其成为那些希望蚀刻或粉刷各种基板的用户的绝佳选择。
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