二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9038352 待售

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图为 已使用的 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 待售
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已售出
刻蚀机、去胶机
製造商
LAM RESEARCH
模型
Alliance A6 9400
ID: 9038352
Etcher, 8" Alliance A6 platform (3) 9400PTX chambers Bulkhead configuration CE mark Pre-aligner MKS transducer Magnatran 7 robot Signal Tower Remote Operator Interface EP filter box; 405 + 520nm ESC VAT isolation valve 12" TCP coil Dual end effector SEIKO SEIKI-STP-A2203C AERA FC D980C MFCs Stacked gas boxes 12 gas lines per box TopRF generator: RFDS Bottom RF Generator: RFG1250HOLA (3) TCS DEX-30AGRF chiller Generator, Turbo Pump Controller, Main Controller Alliance transport module maintenance manual Alliance transport module ship with integration Drawings and schematics revision B Alliance integration gas box drawings and schematics Alliance SECS/GEM interface revision F Vacuum pumps and exhaust scrubber not included.
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LAM RESEARCH Alliance A6 9400是一种蚀刻器/asher，一种溅射沉积设备。系统使用电容耦合射频（RF）功率将金属薄层溅射到基板上。Alliance A6 9400是一种高通量的单元，能够以高速率生产均匀的薄膜涂层。该机为双室配置，配有射频电源、惰性等离子体和真空室。蚀刻室容纳RF电极，这些电极连接到RF电源。腔室中的射频功率由电源控制,并根据所需的蚀刻过程调整为所需的蚀刻参数。惰性等离子体在腔内被激活，用于激活反应气体中的金属离子。材料因离子轰击而溅射到基板上，并调整射频功率以促进溅射金属膜的均匀沉积。真空室为低压沉积过程提供了一个环境，两个腔室相连以保持蚀刻和真空室之间的压差。LAM RESEARCH Alliance A6 9400配备了先进的多传感器成像工具，用于监测蚀刻过程中胶片的生长。所拍摄的图像可用于过程监控和故障排除,并可直观显示涂层的均匀性。资产还配备了开环过程控制，以提供蚀刻速率和涂层均匀性的反馈。Alliance A6 9400是一款适应性强、高通量的蚀刻/asher，能够制作性能极佳的影片。其先进的两室设计、开环过程控制和成像模型为用户提供了精确控制沉积过程并产生所需结果的能力。
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