二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9050180 待售
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ID: 9050180
TCP Etcher. 6"
Robot: Brooks Magnatran 7
Process Module 1:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 100 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Process Module 2:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 100 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Process Module 3:
(8) Gas lines
TCP RF Generator (RFG 1250)
BTM RF Generator (RFG 1250 HALO)
ESC & ESC Power supply (P/N: 810-025054-018)
TCP Match (P/N: 853-032294-002)
Endpoint detector: 405 nm, 520 nm (P/N: 853-540066-005)
Turbo pump: STP-H1300
Pressure control valve: Pendulum VAT65
MFC's: 200 Cl2, 200 HBr, 55 O2, 200 SF6, 100 CF4, 200 He, 100 CHF3
Gas box:
Modular gas box
Remote power module.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400是一款专为精密蚀刻和灰化而设计的高性能蚀刻/灰化设备。适用于硅、SiO2、II-VI化合物、低k电介质和III-V化合物等温度敏感材料的加工。该系统配置性强，并配有各种射频源和工艺气源，使其能够处理各种尺寸的晶片。该单元具有负载锁模块、热室、集成晶片卡盘、多区加热器和真空泵。载荷锁定模块包括一个带有自动载荷和卸载机的载荷室、一个位于载荷室中的基板聚焦工具以及一个带有集成气体面板和排气风扇的排气资产。热室包括一个单独的室和一个加热器模块。加热器模块能够将腔室的温度保持在恒定的所需状态。这对于防止晶片在加工温度期间降解至关重要。集成的基板卡盘消除了手动装载和卸载基板的需要。这种自动化有助于提高蚀刻的统一性和可重复性。该型号由专用电子机柜提供动力,并使用触摸感应GUI操作。GUI提供了配方创建、实时数据显示、离子源调谐和腔室压力显示等一系列功能。它还允许从集中工作站进行可编程的过程控制和监视。该设备还与自适应过程控制（APC）模块和高级过程控制（APC）系统集成在一起。APC模块可根据测量反馈数据自动调整蚀刻工艺参数,从而确保以最高精度实现一致的结果。APC系统有助于最大限度地减少过程漂移和过程变化的影响。Alliance A6 9400是一款最先进的蚀刻器/asher单元,提供无与伦比的精确度和多功能性。它旨在在最苛刻的蚀刻和灰化条件下提供最佳的精度和性能。其先进的自动化和控制功能使其成为任何蚀刻或灰化应用的重要工具。
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