二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9296416 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 9400是一款高级蚀刻器/asher,旨在处理半导体器件制造的各种任务。它利用专利技术来提供卓越的工艺控制、提高吞吐量以及提高蚀刻和灰化工艺的产量。A6 9400系列能够支持高达100 cm2晶圆容量的所有蚀刻/灰分工艺要求。A6 9400是一款大尺寸、坚固耐用的蚀刻器/asher,具有多种自动化功能,可确保工艺的精确度和均匀性。它采用干式气体输送（DOGD）技术，用数字控制阀精确控制气流。这为蚀刻工艺提供了清洁稳定的气体环境。它还包括用于精确温度控制的集成非接触式热电偶。它还使用快速冲洗设备来减少样品处理时间。A6 9400具有高速系统配置,可提高吞吐量并减少蚀刻时间。这包括用于增强掩蔽和蚀刻的高分辨率、300瓦射频发生器、用于改进等离子体场均匀性的高精度、快速、激光调谐单元，以及用于优化光束成形的高速扫描技术。该机器还包括先进的计算机控制和配方存储功能，可重复性和数据追溯。A6 9400采用直观的操作工具和触摸屏控制面板,易于配置和操作。使用可定制的参数和设置,可以轻松配置资产以满足特定的蚀刻/灰烬要求。它包括通风气闸保护、可调暴露极限的实时计量、大气监测模型等综合安全功能。Alliance A6 9400是一款可靠且先进的蚀刻器/asher,旨在提供卓越的工艺控制、增加的吞吐量和产量,以及易于操作。它利用专利技术和可定制的功能来支持对高效的半导体器件制造的各种蚀刻/灰分要求。