二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX #9025958 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX是一种利用高密度等离子体技术实现蚀刻工艺化学精确、可重复控制的蚀刻/灰化设备。这款蚀刻器/asher的设计目的是为各种材料提供快速、高效、精密的蚀刻，如硅、的、GaAs、SiO2、SiGe等化合物半导体，以及金属、陶瓷、聚合物等硬质基板。LAM RESEARCH ALLIANCE A6-9600PTX还配备了一个微米级分辨率扫描系统，能够扫描速度为25kHz。这种高速扫描单元设计为允许具有高精度和重复性的可变蚀刻深度、角度和宽度，使其在高长宽比精密蚀刻应用中特别有用。此外，ALLIANCE A6 9600PTX设计有一个先进的危险控制机器，以保护人员和设备本身。它配备了气体关闭传感器、惰性净化气体输送工具和压力控制器，以确保安全、清洁运行。ALLIANCE A6-9600PTX还配备了可变温度气体输送资产，旨在使更广泛的蚀刻化学物质得到利用。Alliance A6 9600 PTX专为实现高效灰化而设计,而无需多个过程步骤。Asher利用高密度等离子体来确保表面的均匀蚀刻速率，并消除Ashing过程中的任何变形。该模型还采用了集成的等离子体反馈控制设备，确保了对蚀刻速率和过程重复性的精确控制。由于体积紧凑，LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9600PTX是实验室环境的理想选择，设计高效、操作简单。蚀刻器/asher系统带有直观的用户界面，允许用户根据需要快速设置和修改参数。所有这些功能结合在一起,使LAM RESEARCH Alliance A6 9600 PTX成为经济高效的蚀刻和灰化的绝佳选择。