二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9104047 待售
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LAM RESEARCH Alliance A6 9600是一款先进的蚀刻/asher设备,旨在为高度专业化的应用提供卓越的性能。它配备了改进蚀刻能力的真空系统,以及用于先进物理气相沉积应用的射频射频电源。A6 9600还具有先进的用户界面,易于处理和可靠的操作。A6 9600的核心是强大的多束电子束光刻(MEBL)系统。这个单元由几对电子束柱组成,能够以令人印象深刻的速度创建高分辨率图样。它具有invar-mesh快门,有助于提高精度并提供卓越的图案保真度。此外,它还配备了尖端梁偏转功能和先进的掩蔽功能,可加快处理速度。Alliance A6 9600在精密蚀刻应用方面也装备精良,具有提供卓越工艺控制和精密蚀刻速率的工艺室。它还能够产生可能包含极精细特征大小的蚀刻图桉。边缘偏置控制、多通道/通道条形控制器和温度控制等附加功能也有助于改善蚀刻性能。A6 9600还包括了物理气相沉积的多种技术,包括高压氙离子蒸发、溅射涂层等。这些技术用于覆盖各种基板,包括金属和各种电介质,以创建复杂的多层结构,而无需使用光刻工艺。此外,该机器还配备了先进的射频射频电源,可与各种材料和气体版本兼容。LAM RESEARCH Alliance A6 9600是一款先进可靠的蚀刻器/asher工具,旨在处理各种行业中要求最苛刻的应用程序。它配备了强大的MEBL系统和多种沉积蚀刻技术,使其成为高精度微加工项目的绝佳选择。此外,高级用户界面允许更轻松的操作和数据分析,使用户能够通过单个计算机进行精确控制。
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