二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9276388 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 9600是一款用于先进半导体器件制造的高精度蚀刻灰设备。该系统为包括硅片、金属和电介质在内的各种基材提供精确、可重复和可靠的蚀刻和清除操作。它设计用于需要高蚀刻速率和精确精度的介电蚀刻应用。该单元配备先进的技术特点和直观的人性化控制选项，提供卓越的产品性能和灵活性。Alliance A6 9600采用直列四氟甲烷（CF4）蚀刻室，具有精确的质量流量控制，提供高达250毫米/秒蚀刻速率的高度可重复蚀刻轮廓和高分辨率2.5毫米x 2.5毫米贴片尺寸。经过优化的数字电荷中和机可确保出色的氧化顺应性,减少氧化漂移并保持在2V ±范围内。该蚀刻工具还具有具有自动轮廓控制功能的8点环形高斯电子束源和能够产生高达0.02 μ米线宽的高分辨率模式发生器,适合大容量生产小型设备特性。资产包括一个6英寸双区真空灰室的集成灰烬模型，提供高达2800 °C的温度控制，以及一个8气体溷合供应设备，用于快速晶圆吞吐量和基板兼容性。此外，该系统还提供了一个集成的氢控制单元（HCS），以提高端点精度，优化光致抗蚀剂选择性，消除碱灰污染。LAM RESEARCH Alliance A6 9600提供高端半导体器件制造所必需的全部功能。该机针对过程兼容性、生产率、均匀性控制和吞吐量进行了优化,从而实现了从晶圆到晶圆再到批量的快速、精确、可重复的蚀刻结果。