二手 LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX #9266046 待售
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ID: 9266046
晶圆大小: 8"
Etcher, 8"
Integrated gas panel
PM1: Microwave
PM2: 9600 PTX
PM3:9600 PTX
PM4: Microwave
PM5: Aligner
PM6: Cool station
Electrostatic chuck
Turbo pump
Turbo gate valve: VAT65
Photodiode endpoint detection system
Gases: N2, O2, BCL3, CHF3, CL2, AR
CD ROM Manuals included
Mainframe
Robot MAG7
Dual blade
VCE6, Rotation, with dynamic seal
Signal lamp tower
Turbo Pump:
PM1: NA
PM2: SEIKO SEIKI H1303CV3
PM3: SEIKO SEIKI H1303CV3
PM4: NA
RF/ Microwave generator:
PM1: MKS CPS
PM2: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO
PM3: ADVANCED ENERGY RFG 1250 / ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO
PM4: MKS CPS.
LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX是一种先进的物理气相沉积(PVD)和蚀刻技术,旨在使设备制造商能够创造出产量更高、性能更高的复杂非易失性内存芯片。Alliance A6 9608 PTX具有较大的垂直范围,它提供了一系列专用模块来满足设备制造需求,从而使集成电路的设计速度更快、精度更高。LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX具有从物理气相沉积(PVD)到化学蚀刻的全方位真空处理能力,这对于制造非挥发性记忆芯片至关重要。这样可以精确控制工艺条件,如腔室压力和温度,以及沉积速度和均匀性。这些功能允许在各层之间精确蚀刻和精确控制设备机制,从而无需进行昂贵且耗时的手动调整。此外,该系统还配备了温度规划,以防止损坏腔室和加工部件。这样就可以轻松准确地调整工艺条件,提供更高的产量并降低污染风险。此外,Alliance A6 9608 PTX凭借其高度的可控性,可用于制造具有三维轮廓的困难结构。这可用于构建复杂的体系结构,如纳米级内存芯片,其产量和性能比以前可能要高得多。LAM RESEARCH Alliance A6 9608 PTX还具有高效的机器人样品处理和狭缝/源区。提供此功能是为了确保以更高的精度和速度处理适当数量的样品。机器人处理程序连接到中央控制系统,使操作员能够控制各种过程步骤,以确保平稳运行和效率。最后,Alliance A6 9608 PTX是一种顶级蚀刻器,适用于需要制造复杂非易失性内存芯片的用户。它集成了真空处理功能、温度安全编程和复杂的机器人样品处理功能,使其能够在较短的时间内提供精确度和可控性,并且比旧系统具有更高的产量和性能。
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