二手 LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX #9213369 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX是为量产半导体製造设施而设计的高精度、自动化的蚀刻器/asher。通过优化处理、引入、涂层和蚀刻工艺，这台机器能够实现晶片的高通量。整个设备包括一个单独的控制单元，具有集成的灰烬和加热/冷却能力。控制单元包括一个用于精确过程控制的可编程逻辑控制器、一个机电阀、一个用于引入和管理反应性气体和过程气体的气体面板以及一个高速提升系统。单个asher由一个平台组成，该平台位于由X轴分级单元承载的升降机上。升降机垂直移动平台,X-Axis分级机在整个工艺室中移动平台。Alliance A6 TCP 9408具有几种先进的工艺控制技术，如LAM RESEARCH EECO-GATE精密调谐工具、pilot asher a3和Auto-Pilot Asher工艺软件。EECO-GATE资产优化了RF功率,以实现蚀刻过程的可重复和可重复重复。先导Asher a3模型能够完全独立地控制工艺参数，确保每个晶片的蚀刻过程都是可重复和可重复的。Auto-Pilot Asher过程软件在过程控制中扮演着重要角色，使过程过程自动化如RF功率中的自动校正、蚀刻速率、流速以及其他过程变量。Alliance A6 TCP 9408还包含一个集成的冷却/加热设备,能够精确控制加工区域的温度,确保蚀刻过程在所需温度范围内完成。该机还包含一个电极置换系统，可以在没有人工干预的情况下，快速替代不同作业和不同晶片的电极。此外，Alliance A6 TCP 9408配备了多项安全功能，包括安全互锁单元、灭火机和紧急关闭阀工具。机器的过滤器资产旨在保护过程环境不受污染。综上所述,Alliance A6 TCP 9408 PTX是一款功能强大的蚀刻器/asher,旨在实现晶圆过程的无缝、可重复和可重复重复。该机配备了几种先进的工艺控制技术和安全特性，成为批量生产半导体制造需求的可靠选择。