二手 LAM RESEARCH Alliance A6 TM #9152887 待售

LAM RESEARCH Alliance A6 TM
ID: 9152887
Mag 7 conversion.
LAM RESEARCH Alliance A6 TM是一款先进的高性能蚀刻器/asher。具有精密、精密的各类材料蚀刻、粉刷能力。它有一个大的蚀刻室,可以容纳直径达610毫米、高度达460毫米的样品,并且可以处理单面和双面配置的样品。每份工作最多可处理12个晶圆,并达到高达10微米/分钟的蚀刻速率。蚀刻器/asher具有高科技的机械臂,使其能够处理来自一系列配置的样本。它在均匀蚀刻方面提供了卓越的精确度,还能够同时进行多晶片处理。蚀刻器/asher的设计效率高,拥有成本低。它具有两级压力控制系统,允许在蚀刻和灰化过程中调节过程压力。蚀刻器/asher能够为高分辨率蚀刻提供各种蚀刻配方。食谱可以根据所需的结果量身定制和调整。它也具有高度的可调整性,具有广泛的温度、时间和气流设置。蚀刻器/asher还配备了变频电源和嵌入式用户友好界面,便于操作和控制。蚀刻器/asher适用于多种应用,包括半导体、MEMS/MOEMS和全息工业中的应用。蚀刻器/asher配备了全面的安全系统,如惰性大气系统和灭火系统。它还拥有一个全面的传感器网络,用于实时监测。所有这些功能都允许安全高效的处理。Alliance A6 TM是一款高级蚀刻器/Asher,提供卓越的精确度和准确性,同时提供低拥有成本。适用于广泛的应用,并配有全面的安全系统。蚀刻器/asher与广泛的配方兼容,允许用户根据自己的要求量身定制最佳蚀刻条件。
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