二手 LAM RESEARCH Alliance A6 #9123023 待售

LAM RESEARCH Alliance A6是一款精密蚀刻和灰化设备，专为最苛刻的蚀刻和灰化应用而设计。Alliance A6能够在许多蚀刻和灰化应用程序中提供卓越的性能。它配备了先进的高端功能，使其成为纳米级器件制造和MEMS原型制作的完美工具。LAM RESEARCH Alliance A6在同一平台上提供非常精确的等离子体生成和控制，使用户能够实现紧密的等离子体参数稳定性和广泛的蚀刻和灰化结果。该系统能够进行亚微米蚀刻以及高分辨率离子束蚀刻和灰化操作。这是通过先进的蚀刻和灰分配方能力和实时等离子体监测系统实现的。Alliance A6采用最先进的高通量直流磁控管溅射源构建。这确保了非常高的蚀刻和灰化率在同一时间，为了工作与多个样品基板。该单元还提供了一个清晰的过程视图与激光干涉仪动态反馈控制选项。这样可确保样品的所有部分都具有偶数蚀刻/灰化属性。为确保取得最佳结果，LAM RESEARCH Alliance A6还具有可靠的安全和环境合规性。完全符合半导体行业和洁净室空气质量标准。这样可以保护样品的完整性，使其免受污染、谐波噪声和其他可能影响过程的环境因素的影响。此外，它还包括一个去污机，以确保没有化学残留物滞留在样品后蚀刻。总体而言，Alliance A6是在多种基材类型上进行蚀刻和灰化的理想选择，提供出色的工艺控制和效果。其高端特性使其适合各种纳米级器件的制造和MEMS原型的应用。