二手 LAM RESEARCH Alliance A6 #9176367 待售

LAM RESEARCH Alliance A6是一种蚀刻器/灰化器,研究电子-回旋共振（ECR）蚀刻原理.该设备旨在满足各种半导体材料的严格蚀刻和灰化工艺要求。A6提供卓越的蚀刻和灰化性能,以及较低的维护成本和最小的停机时间。该系统设有全N型 ECR蚀刻工艺室，配有氦气喷射器和离子源。A6所使用的高能共振方法，即使在亚半微米水平，也能实现高蚀刻速率和优越的选择性。氦气喷射器的沉积低，选择性好，蚀刻速度快。离子源产生高能量的离子束，快速地从基板上除去材料，允许有效的蚀刻和灰化过程。该单元与高滑行率等离子体清洁模块集成在一起，以安全可靠地清洁A6的工艺室。此模块可提高等离子体密度,增强蚀刻和灰化过程,并提高整个过程的可重复性。高容量供气机提供热控制和最高水平的污染预防。先进的实时三向流量控制室允许精确控制蚀刻过程。此外,专有的负载锁定工具可确保高精度配方和一致性。该资产采用自动配方管理模式，便于在会议厅之间转移配方，而不费吹灰之力。定制的AI预测配方为每个基材和工艺组合提供了最佳的工艺性能。该设备还为用户提供实时状态信息和控制，以加强过程监控和故障排除。可选的Air-to-Process接口可减少作业排序的停机时间,从而提高流程吞吐量。该系统还提供高精度和重复性，即使在处理不同厚度的基板时也是如此。A6还提供了灵活性，允许不同的蚀刻技术，如各向同性、各向异性和定向蚀刻。Alliance A6是用于半导体材料高性能蚀刻和灰化的强大工具。它提供可靠的蚀刻性能,以及安全和低维护.A6提供最新的蚀刻和灰化技术,并允许定制的工艺配方,以提高效率和可重复性。总体而言,LAM RESEARCH Alliance A6是一款功能强大的蚀刻和灰化设备,可提供卓越的蚀刻性能,同时又不影响安全性。