二手 LAM RESEARCH Alliance A6 #9389920 待售

LAM RESEARCH Alliance A6是为高通量处理而设计的单晶片批量蚀刻器/asher。它提供了先进的技术,具有紧凑的占地面积、高性能和卓越的处理可重复性。Alliance A6的特点是具有独立直流偏置控制的双级射频等离子体源,提供出色的蚀刻/灰化选择性,以及高速率、高各向异性蚀刻/灰分工艺。也可配置为高密度等离子体蚀刻或干式剥离蚀刻。该室包括一个自动化的、面向中心的气体分配设备，以提高蚀刻均匀性。与传统的共线缝系统相比，中心向气体分配能力∼10x提高了蚀刻均匀性。小巧但功能强大的晶圆级装卸系统允许简单的样品装卸和放置。LAM LAM RESEARCH Alliance A6能够处理标准、易碎、厚膜的晶片达6英寸（150毫米）。该装置的设计可容纳更高温度的工艺（最高450 °C）和高压工艺配方（最高65 Torr）。机器的控制硬件和软件具有直观和用户友好的界面。它能够储存数百种容易召回的食谱。它提供的复杂程度和直观的功能,不需要复杂的编程。Alliance A6提供了许多高级功能,可确保用户的工作效率、可重复性和卓越的流程性能。这些特点包括：先进的诊断和监测，氢稀释控制，均匀的气体注入，以及底物射频偏置。LAM RESEARCH Alliance A6是用于沉积高性能薄膜材料的理想蚀刻/灰分工具，包括用于半导体、光学和光电器件的材料。其卓越的功能集使其成为提高生产率和吞吐量的绝佳选择,同时确保了出色的过程控制和可重复性。