二手 LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293627727 待售
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ID: 293627727
晶圆大小: 8"
Etcher, 8"
Chamber
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M Turbo molecular pump
ACT 1300M PM Pump controller
Enhanced gas box
Spooled inlet gas panel
HORIBA / STEC Mass Flow Controller (MFC) Type: Digital
Gas filter: ≥0.003 um
Gas box stacking: 4 PM Stacking
Pump ballast with AOV 85
Chamber manometer: MKS 0.1 Torr
Turbo manometer: MKS 10 Torr
Fore line manometer: MKS 10 Torr
Pressure control valve: Pendulum VAT65
Helium pressure control unit: UPC-1300
ESC 718-094523-281 Bipolar anodize (Notch), 750 V, 24 VDC
Chamber configuration: Elevated top hat
Direct pressure monitoring
He Cooling size (Center): 50 SCCM
(8) Gas lines:
Line / Gas / Size
1 / O2 / 50 SCCM
2 / C2F6 / 100 SCCM
3 / Cl2 / 100 SCCM
4 / HBr / 350 SCCM
5 / He / 500 SCCM
6 / 20% O2/He / 20 SCCM
7 / CF4 / 200 SCCM
8 / SF6 / 200 SCCM
Upper chamber temperature: 60°C
Wall chamber temperature: 60°C
Lower chamber temperature: 65°C
ADVANCED ENERGY RFDS-1250 RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-026)
RF Generator cooling type: Water
Coil (P/N: 853-330601-001)
Match (P/N: 853-032294-002)
Auto tune PCB (P/N: 810-015987-101)
Upper match enclosure with fan
ADVANCED ENERGY RFG-1250 Halo RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-028)
RF Generator cooling type: Water
P/N: 853-015130-103 Match
P/N: 810-017003-005 DIP PCB.
LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX是工厂生产的理想asher/蚀刻机。这种紧凑、易于使用的机器主要用于晶圆基板的加工。PTX模型非常适合要求高精度和高精度的材料生长和去除应用。它的自动化功能最大程度地提高了吞吐量,降低了每个应用程序的成本,并简化了操作。PTX采用等离子体增强蚀刻技术，具有优化的腔室设计和先进的蚀刻参数，提供卓越的质量效果。这种高度先进的蚀刻器具有出色的沉积剖面、均匀的重迭和尖锐的特征定义，导致无缺陷晶片和更大的产量。TCP 9400 PTX具有倾斜旋转级,允许精确的处理与精确的模式识别对齐。这样可以处理任何尺寸和厚度的基板,同时保持精确的均匀性。该机还具有卓越的使用寿命,平均总运行时间为97%。该设备采用90纳米单晶片工艺，非常适合低功耗和高密度应用。它提供了广泛的系统选项,可根据客户的特定需求定制结果。其他功能包括25W高功率射频源,在整个晶片上提供均匀的电源,自动选择缺口,以及用于过程控制和监控的安全远程数据管理单元。PTX专为长期可靠性、精确的阵列和可重复性而设计,以及一台高性能的机器,以适应苛刻的生产要求。该机还通过彩色触摸屏和更新的软件提供了高水平的操作员舒适性和灵活的操作，使设备的操作和维护更加简单和高效。这台机器非常适合任何生产环境，并提供最佳的正常运行时间，过程控制和可重复性。
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